[发明专利]观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法在审
| 申请号： | 201880081754.0 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN111492228A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 山内丰彦;山田秀直;后藤谦太郎 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01B9/02;G01N21/45;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 观察对象物罩是用于使用第一光及相干长度比第一光长的第二光，基于第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，具备：透过反射部，其使第一光透过并且使第二光反射；支承部，其以载置观察对象物的载置面和透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承透过反射部。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 对象 干涉 容器 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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