[发明专利]增强电子束生成有效
| 申请号： | 201880082468.6 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111512410B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 约翰·巴克隆;马蒂亚斯·法杰 | 申请（专利权）人： | 阿尔卡姆公司 |
| 主分类号： | H01J37/301 | 分类号： | H01J37/301;B22F3/105;B23K15/00;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/02;B29C64/153;B29C64/393;B29C64/268;H01J37/304;B23K15/06 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 瑞典默*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子束源，其包括阴极，阳极，用于将电子束偏转在目标表面上的装置以及至少一个真空泵，该电子束源还包括布置在阳极和用于偏转电子束的装置之间的收缩区域，其中，收缩区域中的孔相对于阴极与阳极中的孔对准，第一真空泵布置在收缩区域与阳极之间，第二真空泵布置在阳极上方，气体入口设置在收缩区域和用于偏转电子束的装置之间，其中电子束的第一交叉点布置在收缩区域处或紧邻收缩区域。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 电子束 生成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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