[发明专利]工件切断方法及线锯有效
| 申请号： | 201880082498.7 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111511504B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 北川幸司;丰田史朗 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B27/06;B28D5/04;B28D7/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;刘言 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工件切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中，将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上，当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时，将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上，其中，所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。由此，提供一种工件切断方法及线锯，其在从金属线列拉出切断后的工件时，抑制金属线卡住工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 切断 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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