[发明专利]维持恒压的液体供给装置有效

专利信息
申请号: 201880083003.2 申请日: 2018-11-08
公开(公告)号: CN111656503B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 李连范;林泽圭;林根福;赵皓峻;金圣洙;安哲秀;金哲泳;杨承和 申请(专利权)人: 先技高科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 代理人: 张陆军;张迎新
地址: 韩国京畿道*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开一种维持恒压的液体供给装置及利用其的液体供给方法,在用于容纳以可变的液体供给压力供给的液体的容器(vessel)中,设置主氮气供给部件和压力微调用氮气加压部件,并对容器内部的压力进行实时监视来控制操作,从而使最终供给端维持一定的恒压,能够十分稳定地供给药品,而且具有经济性。在维持恒压的液体供给装置(100)的容器(vessel)(10)中容纳有用于持续地维持一定压力的液体,通过主液体供给部件(20)向所述容器(10)供给适量的用于维持一定压力的液体,并且通过第一加压部件(30)向所述容器(10)供给用于维持一定恒压的主氮气,而且通过第二加压部件(40)进一步供给或者排出氮气以微调液体的供给压力和主氮气的恒压间的压差,并通过水位传感器(60)感知所述容器(10)内的液体水位,通过输出端压力维持部件(70)使从所述容器(10)排出的液体的排出压力维持一定。
搜索关键词: 维持 液体 供给 装置
【主权项】:
暂无信息
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