[发明专利]显示装置有效

专利信息
申请号: 201880083528.6 申请日: 2018-11-28
公开(公告)号: CN111512356B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 铃村功 申请(专利权)人: 株式会社日本显示器
主分类号: G09F9/30 分类号: G09F9/30;G02F1/1368;H01L21/336;H01L27/32;H01L29/786;H01L51/50
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的课题为,在具有由氧化物半导体构成的TFT的显示装置中,减小源极/漏极电阻并实现具有稳定的Vd‑Id特性的TFT。本发明的内容为:形成有多个具有由氧化物半导体105构成的薄膜晶体管(TFT)的像素的显示装置,其特征在于,所述氧化物半导体105中形成有沟道,在所述沟道的两侧形成的漏极及源极,在所述沟道与所述漏极之间或所述沟道与所述源极之间形成有中间区域,在所述氧化物半导体105的所述沟道与所述中间区域之上形成有栅极绝缘膜106,在所述栅极绝缘膜106之上形成有氧化铝膜107,在所述沟道的上方且在所述氧化铝膜107之上形成有栅电极109,在所述栅电极109的两侧形成有侧壁间隔件108,以覆盖所述栅电极109、所述侧壁间隔件108及所述源极及漏极的方式形成有层间绝缘膜110。
搜索关键词: 显示装置
【主权项】:
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