[发明专利]数据处理装置、数据处理方法以及程序在审
申请号: | 201880083796.8 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN111527486A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 铃木淳司;加藤隆彦 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G06F16/00 | 分类号: | G06F16/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 金雪梅;王海奇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理。数据处理装置具有:计算单元,收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群,并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果;分割单元,分割特征空间,以便与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自在该特征空间中的分布按计算出的每一上述效果被分类;以及输出单元,输出特定数据,该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。 | ||
搜索关键词: | 数据处理 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】:
暂无信息
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