[发明专利]隧道磁阻效应膜以及使用其的磁装置在审

专利信息
申请号: 201880083967.7 申请日: 2018-12-19
公开(公告)号: CN111512455A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 斋藤正路;小池文人 申请(专利权)人: 阿尔卑斯阿尔派株式会社
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01F10/32;H01L21/8239;H01L27/105;H01L43/10;G01B7/00;G01R33/09;H01F10/12
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴秋明
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 即使在高温环境、高磁场环境等中,也能够适当地动作的隧道磁阻效应(TMR)元件11,具备具有固定磁性层3的至少一部分即第1强磁性层31和在第1强磁性层31层叠的反强磁性层2的交换耦合膜10,反强磁性层2具备X(Cr‑Mn)层,该X(Cr‑Mn)层含有从由铂族元素以及Ni构成的组中选择的一种或者两种以上元素X、以及Mn及C,X(Cr‑Mn)层具有:距第1强磁性层31相对较近的第1区域R1、和距第1强磁性层31相对较远的第2区域R2,第1区域R1中的Mn含有量高于第2区域R2中的Mn含有量。
搜索关键词: 隧道 磁阻 效应 以及 使用 装置
【主权项】:
暂无信息
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