[发明专利]具有减小的寄生电容的体声波谐振器的制造方法在审
| 申请号： | 201880084215.2 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN111566932A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | M·戈里斯;A·莱因哈特;拉明·贝奈萨;J·S·某乐图 | 申请（专利权）人： | 法国原子能源和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02;H01L41/312;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 潘晓松;林蕾 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于可调节的体声波谐振器的制造方法，可调节的体声波谐振器包括换能器叠层(E1)和调谐叠层(E2)。根据本发明，换能器叠层(E1)包括两个限定的电极(4、6)和压电材料(2)，并且叠层(E2)包括压电材料层(8)和两个限定的电极(10、12)。该方法包括：a)制造换能器叠层；b)在换能器叠层的电极(6)上形成电绝缘层；c)在电绝缘层上形成调谐叠层的限定的电极(10)，使得其与换能器叠层的电极对准；d)在电极(10)上组装压电材料衬底；e)使压电材料衬底断裂；f)形成调谐叠层的与限定的电极(10)对准的另一限定的电极(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 减小 寄生 电容 声波 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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