[发明专利]高功率射频螺旋线圈滤波器有效
| 申请号： | 201880084322.5 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111512404B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 肖恩·凯利·奥布莱恩;赫马·斯沃普·莫皮迪维;赛义德·贾法·雅法良-特哈妮;尼尔·马丁·保罗·本杰明;杰森·奥古斯蒂诺 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01F17/04 | 分类号： | H01F17/04;H01F27/28;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 各种实施方式包含一种用于过滤基于等离子体的处理设备中的射频的装置。在各种实施方式中，RF滤波器装置包含以间隔开的布置彼此电耦合并基本平行的多个基本平面的螺旋滤波器。在一个实施方式中，基于接连螺旋的布置，平面螺旋滤波器中的每一个作为内部到内部的电连接或外部到外部的电连接被耦合到平面螺旋滤波器中的一个相邻螺旋滤波器，以便增加总电感值。公开了其他方法、装置、设备和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 射频 螺旋 线圈 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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