[发明专利]从设备部件中移除污染物颗粒的设备和方法在审
| 申请号： | 201880084406.9 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111512238A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | T·P·J·G·马斯;B·M·J·范豪特;H·W·M·范布尔;F·佐斯绍特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于从设备(140，MT)的部件(202、204)移除污染物颗粒(205)的设备(300)，所述污染物颗粒产生环境电场(E)，所述设备包括：用于吸引所述颗粒的收集区域(301)，其中，所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间；和电场发生器，所述电场发生器被配置成在所述收集区域与所述部件之间建立施加电场以使所述颗粒从所述部件传输到所述收集区域，其中所述电场发生器被配置成基于环境电场来确定所施加电场的极性。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 部件 污染物 颗粒 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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