[发明专利]位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法有效

专利信息
申请号: 201880085639.0 申请日: 2018-01-11
公开(公告)号: CN111566489B 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 郑守烈;尹柱勋;金政炫 申请(专利权)人: (株)东日技研
主分类号: G01R29/12 分类号: G01R29/12;G01D21/02;G01H17/00;G01S15/02
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 乔献丽
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法,包括为了能够通过将用于对距离进行测定的位移传感器以及用于对静电释放(ESD)进行测定的静电测定电位传感器安装到一台装置上并使其关联工作而解决现有的静电测定传感器中的静电电位测定结果值随着带电体与电位传感器之间的距离发生变化的问题,将位移传感器所测定到的与带电体之间的距离存储到主控制器中并自动地对电位传感器的静电量测定值进行补正,同时将位移传感器对电位传感器造成的静电容量变化适用于静电传感器所测定到的结果值的误差补正,从而能够解决在对运动的测定对象物体等距离发生变更的带电体进行检测时错误工作的问题,还具有能够准确测定电位、通过装置的小型化而提升实用便利性、节省制造以及安装成本等效果的位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法。
搜索关键词: 位移 传感器 复合型 静电 测定 电位 及其 应用 方法
【主权项】:
暂无信息
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