[发明专利]用于降低磨料颗粒与清洁刷之间的相互作用的组合物和方法在审
| 申请号： | 201880085765.6 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111566196A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | D·怀特 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C11D11/00 | 分类号： | C11D11/00;H01L21/304;A46D1/00;C11D7/50;C11D7/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述从聚合物表面，如从化学机械处理后清洁步骤中所使用的清洁刷的聚合物表面去除磨料颗粒的方法；以及相关的清洁溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 降低 磨料 颗粒 清洁 之间 相互作用 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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