[发明专利]用于制造微机械层结构的方法

摘要

本发明涉及一种用于制造微机械层结构的方法，包括以下步骤：‑提供第一保护层，其中，第一保护层结构化有至少一个进口，该进口填充以牺牲层材料，‑将包括至少一个功能层的功能层‑层结构施加到第一保护层上，‑在功能层‑层结构中通向第一保护层的至少一个进口地制造第一进口，使得在功能层‑层结构中的第一进口的宽度在功能层‑层结构的层的至少一个层中大于或等于第一保护层的至少一个进口的宽度，‑将第二保护层施加到功能层‑层结构上，使得第一进口填充以第二保护层的材料，‑使第二保护层和填充的第一进口结构化有通向第一保护层的第二进口，其中，第二进口具有等于或小于第一进口的宽度，使得在第二进口的宽度较小的情况下第二进口的壁通过第二保护层的材料形成，‑移除至少在第一保护层的进口中的牺牲层材料，并且‑移除至少在第二进口中的保护层材料。