[发明专利]扫描型探针显微镜和分析方法有效
| 申请号： | 201880086991.6 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111630396B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 新井浩;平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q30/04 | 分类号： | G01Q30/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 扫描型探针显微镜(1)具备控制部(15)。控制部(15)包括信号获取处理部(151)、图像获取处理部(152)、扫描条件变更处理部(154)、扫描处理部(155)以及噪声判定处理部(156)。在扫描型探针显微镜(1)中，在去除试样的表面图像中含有的噪声的情况下，扫描条件变更处理部(154)变更扫描条件。并且，信号获取处理部(151)获取来自检测部(12)的输出信号。图像获取处理部(152)基于该输出信号来获取试样(S)的表面图像。噪声判定处理部(156)基于通过扫描条件变更处理部(154)变更了扫描条件时的输出信号的变化或者试样(S)的表面图像的变化，来判定输出信号中是否含有噪声。因此，在输出信号中含有噪声的情况下，能够正确地判定该情况。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 分析 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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