[发明专利]处理模块子系统的主动反馈控制在审
| 申请号： | 201880087152.6 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111630469A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 斯科特·里格斯;赖安·拜斯;约翰·瓦尔考;埃里克·赫德森;拉纳迪普·博米克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G06F1/12 | 分类号： | G06F1/12;G06F1/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于使在耦合到用于处理衬底的处理模块的子系统之间的控制信号同步的通信系统。耦合到所述子系统的分布式控制器被配置为启动处理步骤，每一个处理步骤具有步骤时段。分布式时钟模块包括主时钟，该主时钟具有包括时钟周期的时钟速度，每个时钟周期具有与反馈循环预相关的持续时间，在该反馈循环中，通过所述分布式时钟模块将同步的控制信号传送到所述子系统以及从所述子系统接收所述同步的控制信号。由所述分布式时钟模块分配预定数量的时钟周期，以执行相应数量的反馈循环，从而在处理步骤之间过渡。所述预定数量的时钟周期被限制为所述步骤时段的片段。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 模块 子系统 主动 反馈 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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