[发明专利]光学仪器中的镜对准在审
申请号: | 201880088042.1 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN111656243A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | J·M·考菲 | 申请(专利权)人: | 热电科学仪器有限公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G01J3/06;G01J3/453;G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈洁;周全 |
地址: | 美国威*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开是关于一种镜组件,其具有一个或多个运动轴线并包含可移动镜并且所述镜与正交于其运动轴线的平面形成锐角。所述镜组件可包含:第一反射镜表面,所述第一反射镜表面在入射光路上可移动并与正交于其运动轴线的平面形成锐角;以及第二反射镜表面,所述第二反射镜表面在出射光路上可移动并与正交于其运动轴线的平面形成锐角,并且可以线性平移的方式移动,以便以生成正常干涉图的方式扫描干涉仪中的所述镜。 | ||
搜索关键词: | 光学仪器 中的 对准 | ||
【主权项】:
暂无信息
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