[发明专利]MEMS设备在审
| 申请号： | 201880088213.0 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111683896A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 梅田圭一;大川忠行;加本拓;后藤雄一;井上义久;岸武彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H03H9/24;B81C3/00;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/09;H01L41/113;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王玮;张丰桥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明具备：压电膜；第一电极以及第二电极，它们夹着该压电膜；保护膜，其设置为覆盖第二电极的至少一部分，具有将第二电极的一部分开口的开口部；第三电极，其设置为至少在开口部与第二电极接触，且覆盖保护膜的至少一部分；以及第一布线层，其具有与第三电极接触的第一接触部。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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