[发明专利]集成式热泳微粒物质传感器在审

专利信息
申请号: 201880089435.4 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN111712704A 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 安德森·辛古拉尼;乔治·罗勒 申请(专利权)人: ams有限公司
主分类号: G01N15/06 分类号: G01N15/06
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 康泉;宋志强
地址: 奥地利普*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于感测流体中的微粒物质的装置,该装置包含第一基板、及与该第一基板电集成的传感器件。该传感器件具有接收表面。上述装置包含第二基板,该第二基板通过间隙与第一基板分开。上述装置包含安置于第一基板与第二基板之间的上述间隙中的加热元件,该加热元件通过柱连接至第二基板。加热元件与传感器件的接收表面对准,且微流体通道被限定在第一基板与加热元件之间。
搜索关键词: 集成 式热泳 微粒 物质 传感器
【主权项】:
暂无信息
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