[发明专利]获得氮化物层的方法有效

专利信息
申请号: 201880089951.7 申请日: 2018-12-24
公开(公告)号: CN111742085B 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 居伊·费尔特;勃朗蒂娜·厄玲;维尔日妮·布兰德利;伯努瓦·马蒂厄;杰西·祖尼加佩雷斯 申请(专利权)人: 法国原子能源和替代能源委员会;国家科学研究中心
主分类号: C30B25/18 分类号: C30B25/18;C30B29/40
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 方挺;张函
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的目的在于获得氮化物(N)层(550)的方法。该氮化物层优选由镓(Ga)、铟(In)和铝(Al)中的至少一种获得,该方法包括以下步骤:提供一种叠层,其包括衬底(100)和从衬底(100)连续设置的至少以下层:蠕变层(200),其具有玻璃化转变温度T玻璃化转变,·结晶层(300);通过蚀刻叠层形成衬垫(1000a‑1000e),使得每个衬垫(1000a‑1000e)至少包括:蠕变部分(220a,220b),由蠕变层(200)的至少一部分形成,结晶部分(300a,300b),由结晶层(300)形成;在每个衬垫(1000a‑1000e)上通过外延生长微晶(510a‑510e),并使微晶(510a‑510e)继续外延生长,从而形成所述氮化物层(550)。外延生长在温度T外延下进行,使得T外延≥k1·T玻璃化转变,k1=0.8。
搜索关键词: 获得 氮化物 方法
【主权项】:
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