[发明专利]获得氮化物层的方法有效
申请号: | 201880089951.7 | 申请日: | 2018-12-24 |
公开(公告)号: | CN111742085B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 居伊·费尔特;勃朗蒂娜·厄玲;维尔日妮·布兰德利;伯努瓦·马蒂厄;杰西·祖尼加佩雷斯 | 申请(专利权)人: | 法国原子能源和替代能源委员会;国家科学研究中心 |
主分类号: | C30B25/18 | 分类号: | C30B25/18;C30B29/40 |
代理公司: | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人: | 方挺;张函 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明的目的在于获得氮化物(N)层(550)的方法。该氮化物层优选由镓(Ga)、铟(In)和铝(Al)中的至少一种获得,该方法包括以下步骤:提供一种叠层,其包括衬底(100)和从衬底(100)连续设置的至少以下层:蠕变层(200),其具有玻璃化转变温度T |
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搜索关键词: | 获得 氮化物 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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