[发明专利]离子铣削装置及离子铣削装置的离子源调整方法有效
| 申请号： | 201880090114.6 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111758144B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 鸭志田齐;高须久幸;上野敦史;岩谷彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/067;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提高通过向试样照射非聚焦的离子束加工试样的离子铣削装置的加工精度、或加工面形状的再现精度。为此，具有试样室(6)、设置于试样室的离子源位置调整机构(5)、经由离子源位置调整机构安装于试样室且射出离子束的离子源(1)、以及以旋转中心为轴旋转的试样台(2)，若将离子束的离子束中心(B |
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| 搜索关键词： | 离子 铣削 装置 离子源 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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