[发明专利]驱动装置在审
申请号: | 201880090738.8 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN111801517A | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 古田匡智;小寺庆;渡边清 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F16H49/00 | 分类号: | F16H49/00;F16H21/10;G01N27/62 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 可动侧磁体(4)设于真空室(1)内的可动部(2)。驱动部(5)设于真空室(1)的外部,通过对可动侧磁体(4)作用磁力而驱动可动部(2)。驱动部(5)具有第1磁体(8)、第2磁体(9)以及移动机构(移动构件(7))。第1磁体(8)作用吸引可动侧磁体(4)的磁力。第2磁体(9)与第1磁体(8)相邻地设置,作用排斥可动侧磁体(4)的磁力。移动机构使第1磁体(8)和第2磁体(9)一体地移动。 | ||
搜索关键词: | 驱动 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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