[发明专利]用于测量超出衍射极限的双折射装置的光学剪切的方法和系统在审
| 申请号： | 201880091655.0 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN112219096A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 陈贤;杜胜旺;赵腾;赵路伟;曾卓辉;邱赫纯 | 申请（专利权）人： | 光原创新科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜诚;杨林森 |
| 地址： | 中国香*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 直接测量穿过具有超出衍射极限的分辨率的双折射装置(212)的光束的光学剪切角和横向位移的方法和系统。用于测量剪切角的系统包括照射模块(310)、偏振控制单元(209)或偏振器(309)、所述双折射装置(212)、透镜模块(215)和用于记录光强度分布的数据获取模块(218)。当使用偏振控制单元(209)时，控制来自照射模块(310)的输入光束(201)的偏振，使得可以在不同的帧处分别记录具有正交偏振的两个光点(206，207)。当使用偏振器(309)时，在具有来自照射模块(310)的输入光束(201)的混合偏振的情况下，偏振器(309)被放置在数据获取模块(218)前方以在不同的帧处分别记录具有正交偏振的两个光点(206，207)。然后应用定位分析确定具有垂直偏振的两个光点(206，207)的中心位置，并且计算横向剪切光束之间的剪切角/位移的值。该方法能够解决剪切角/位移超出光衍射极限的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 超出 衍射 极限 双折射 装置 光学 剪切 方法 系统 | ||
【主权项】：
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