[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201880091722.9 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111971776B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 野间口恒典;本村俊一;川崎忠宽;加藤丈晴;吉田龙视 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术;一般财团法人日本精细陶瓷中心 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 作为校正带电粒子束用的电磁透镜所具有的正的球面像差的装置，已知组合圆孔电极和圆环电极而得的球面像差校正装置。在该球面像差校正装置中，在向圆孔电极和圆环电极之间施加了电压时，由于圆孔电极产生的凸透镜效果，带电粒子束装置的焦点发生变化。因此，在具备产生带电粒子束的带电粒子束源(101)、具有圆环形状的带电粒子束光圈(120)、向带电粒子束光圈施加电压的带电粒子束光圈电源(108)的带电粒子束装置中，带电粒子束光圈电源向带电粒子束光圈施加极性与带电粒子束的电荷相反的电压。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
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