[发明专利]谐振子以及谐振装置在审
| 申请号： | 201880092625.1 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112204880A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 河合良太;西村俊雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;王海奇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供谐振子(10)，具备：振动部(120)，具备：具有主面的基板(F2)、形成在基板(F2)的主面上的下部电极(E1)、形成在下部电极(E1)上的压电膜(F3)、以及形成在压电膜(F3)上的上部电极(E2)；以及保持部(140)，设置为包围振动部(120)的至少一部分。在振动部(120)的周围设置有开口槽，该开口槽在俯视基板(F2)的主面时的第一方向具有不同的宽度。在俯视基板(F2)的主面时，上部电极(E2)形成为从基板(F2)的外边缘隔开沿着第一方向的间隙设置，并且开口槽的宽度较大的区域的间隙的长度比开口槽的宽度较小的区域的间隙的长度大。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振子 以及 谐振 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880092625.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
