[发明专利]用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置在审
| 申请号： | 201880093054.3 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112135920A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·格比利;安德烈亚斯·勒普 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/12;C23C14/24;C23C16/04;C23C16/44;H01L21/67;H01L51/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源(20)的屏蔽装置(200)。蒸发源(20)被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口(22)。屏蔽装置(200)包括一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据来自一个或多个出口(22)的蒸发的源材料的羽流(342)的发射角度来阻挡蒸发的源材料并且被配置成通过移动进行替换。披露了一种包括一个或多个屏蔽带(210)的屏蔽装置。还披露了一种蒸发源和一种屏蔽的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 蒸发 材料 屏蔽 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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