[发明专利]用于从基板升离掩模的设备、基板载体、真空处理系统和操作电永磁铁组件的方法在审
| 申请号： | 201880093332.5 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN112135693A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·雷纳·舒尔特海斯;塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;C23C14/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种设备，用于从基板升离安装在掩模框架处的掩模。所述设备包括电永磁铁组件和磁铁布置，所述磁铁布置附接于所述掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基板升离掩模 设备 载体 真空 处理 系统 操作 永磁 组件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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