[发明专利]活性气体生成装置有效
| 申请号： | 201880093516.1 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN112166650B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 有田廉;渡边谦资;西村真一 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;B01J19/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不变更孔板部的构造就能够有意图地减弱设置在孔板部下方的处理空间的电场强度。并且，在本发明中，高电压侧电极构成部(1)还具有与金属电极(10)相独立地形成在电介质电极(11)的上表面上的导电膜(12)。导电膜(12)在俯视时设置在至少一个气体喷出孔(9)与金属电极(10)之间，并且导电膜(12)被设定为接地电位。 | ||
| 搜索关键词： | 活性 气体 生成 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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