[发明专利]用于沉积多晶硅的电极在审
| 申请号： | 201880093963.7 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN112203980A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 海因茨·克劳斯;彼得·菲拉尔 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 杜兆东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电极，其包括保持器区段、具有容纳所述保持器区段的切口的基部区段和任选地至少一个布置在所述基部区段和所述保持器区段之间的中间区段，其中相邻的区段具有相对界面，所述界面至少部分地彼此机械接触并形成共用接触区域，其特征在于，为了减小接触区域，所述界面中的至少一个具有至少一个凹陷和/或凸起。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 多晶 电极 | ||
【主权项】：
暂无信息
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