[发明专利]光测距装置以及加工装置在审
申请号: | 201880094330.8 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN112236688A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 斧原圣史;后藤广树 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G01S17/34 | 分类号: | G01S17/34;G01S7/4913 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 金光华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 将光测距装置(3)构成为如下:设置光干涉部(21)和偏振波旋转部(25),光干涉部将反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光,从第一偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第一及第二分量,从第二偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第三及第四分量,偏振波旋转部通过使具有第一及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有第三及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转,取得偏振波的水平分量及垂直分量中的一个以上的分量,距离计算部(27)根据由偏振波旋转部(25)取得的分量计算反射光的频率与参考光的频率的差分,根据差分计算直至测定对象物(1)为止的距离。 | ||
搜索关键词: | 测距 装置 以及 加工 | ||
【主权项】:
暂无信息
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