[发明专利]检查设定装置及检查设定方法在审
| 申请号： | 201880095679.3 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN112437879A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 小林贵纮;天野雅史;横井勇太;鬼头秀一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H05K13/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检查设定装置具备判定部和设定部。判定部在图像处理的结果包含于被判定为正常的第一容许范围时，判定图像处理的结果是否包含于第二容许范围，图像处理在对基板作业机对基板产品的生产处理中执行，识别基板产品中包含的构成部位的状态。第二容许范围是比第一容许范围窄的容许范围，且考虑构成部位及图像处理的偏差来设定。设定部在由判定部判定为图像处理的结果不包含于第二容许范围时，将判定的构成部位的检查基准设定得比进行判定之前严格。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 设定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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