[发明专利]扫描探针显微镜以及使用扫描探针显微镜的物理性质测定方法在审
| 申请号： | 201880096598.5 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN112567252A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 山崎贤治;小暮亮雅 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 扫描探针显微镜(50)具备探针(20)、用于指示探针(20)的悬臂(2)、用于载置试样(S)的扫描仪(43)、使试样(S)与探针(20)之间的距离发生变化的驱动部(4)以及测定悬臂(2)的位移的位移测定部(3)。扫描探针显微镜(50)还具备：曲线制作部(11)，其制作第一曲线和第二曲线，该第一曲线表示试样(S)接近探针(20)时的探针(20)与试样(S)之间的距离同表示悬臂(2)的位移的量的关系，该第二曲线表示试样(S)远离探针(20)时的探针(20)与试样(S)之间的距离同表示悬臂(2)的位移的量的关系；以及物理性质计算部(53)，其求出表示第一曲线与第二曲线之间的面积的量，来作为试样的物理性质。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 以及 使用 物理性质 测定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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