[发明专利]气体供给判定方法和等离子体发生装置在审
| 申请号： | 201880096882.2 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112640584A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 泷川慎二;神藤高广 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26;G01F1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种气体供给判定方法，是设有第一供给口和第二供给口的等离子体发生装置的气体供给判定方法，等离子体发生装置具备：第一供给装置，用于从第一供给口供给第一气体；及第二供给装置，与第一供给装置连接，用于从第二供给口供给第二气体，气体供给判定方法具备：第一供给工序，在停止由第二供给装置供给第二气体的状态下，开始由第一供给装置供给第一气体；第一计测工序，在第一供给工序之后，对供给到第一供给口的气体进行流量计测；及第一通知工序，根据第一计测工序的流量计测结果，通知第一供给口中的第一气体的供给状态。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 判定 方法 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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