[发明专利]图像形成方法以及图像形成系统在审
| 申请号： | 201880098592.1 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112868082A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 福田宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;G01N1/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴秋明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及图像形成方法，以将多层结构体中所含的多个分层的信息遍及大范围显性化、或进行了显性化的对象层的图像化为目的。提出一种方法，包含：将样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔；以及基于通过对所述带状的倾斜面中所含的所述对象层照射带电粒子束而得到的信号来形成从与所述对象层的所述倾斜面交叉的方向来看的第1图像。 | ||
| 搜索关键词： | 图像 形成 方法 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880098592.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电路形成方法
- 下一篇：具有声学角件的抽吸机
- 彩色图像和单色图像的图像处理
- 图像编码/图像解码方法以及图像编码/图像解码装置
- 图像处理装置、图像形成装置、图像读取装置、图像处理方法
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序以及图像解码程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序、以及图像解码程序
- 图像形成设备、图像形成系统和图像形成方法
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
