[发明专利]用于沉积蒸发的材料的沉积源、沉积装置及其方法有效
| 申请号： | 201880098803.1 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN112912533B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 斯里尼瓦斯·萨鲁古;安德烈亚斯·穆勒;塞巴斯蒂安·弗兰克;安德烈亚斯·勒普;乌韦·许斯勒;朱利安·奥巴赫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于沉积蒸发的材料的沉积源。所述沉积源(100)包括分配布置(110)，所述分配布置具有多个出口(111)以用于在主沉积方向(101)上提供蒸发的第一材料(A)和蒸发的第二材料(B)。另外，所述沉积源包括测量组件(120)，所述测量组件用于测量所述蒸发的第一材料(A)的第一沉积速率并用于测量所述蒸发的第二材料(B)的第二沉积速率。所述测量组件(120)具有处于与所述主沉积方向(101)交叉的方向上的主检测方向(102)。此外，所述沉积源(100)包括分离元件(130)，所述分离元件用于在与所述主检测方向(102)交叉的方向上分离所述蒸发的第一材料(A)和所述蒸发的第二材料(B)。所述分离元件(130)在所述主检测方向(102)上布置在所述多个出口(111)与所述测量组件(120)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 蒸发 材料 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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