[发明专利]质量分析装置在审

专利信息
申请号: 201880099060.X 申请日: 2018-12-19
公开(公告)号: CN112955998A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 西口克 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: H01J49/42 分类号: H01J49/42;H01J49/06
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 杨楷;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及质量分析装置。配设在第1中间真空室内的离子导向器(20)包含6根杆电极(211~216)与电压生成部。为使6根杆电极(211~216)在离子的入射侧为六极的配置并且4根杆电极(211、214、215、216)成为四极的配置,使2根杆电极(211、214)以随着在离子的输送方向上行进而靠近中心轴(201)的方式相对于Z轴倾斜配设。电压生成部相对于6根杆电极(211~216),对在中心轴(201)的周围相邻的杆电极彼此施加相位相互反转的高频电压±Vcosωt,并对4根杆电极(211、214、215、216)施加供离子良好地通过的直流电压U1,对其他2根杆电极(212、213)施加与U1不同的直流电压U2。
搜索关键词: 质量 分析 装置
【主权项】:
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