[发明专利]质量分析装置在审
申请号: | 201880099060.X | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN112955998A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 西口克 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01J49/42 | 分类号: | H01J49/42;H01J49/06 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及质量分析装置。配设在第1中间真空室内的离子导向器(20)包含6根杆电极(211~216)与电压生成部。为使6根杆电极(211~216)在离子的入射侧为六极的配置并且4根杆电极(211、214、215、216)成为四极的配置,使2根杆电极(211、214)以随着在离子的输送方向上行进而靠近中心轴(201)的方式相对于Z轴倾斜配设。电压生成部相对于6根杆电极(211~216),对在中心轴(201)的周围相邻的杆电极彼此施加相位相互反转的高频电压±Vcosωt,并对4根杆电极(211、214、215、216)施加供离子良好地通过的直流电压U1,对其他2根杆电极(212、213)施加与U1不同的直流电压U2。 | ||
搜索关键词: | 质量 分析 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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