[发明专利]抛光垫及其制造方法在审
| 申请号： | 201880099779.3 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN113165141A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 大石邦晴;海野达广 | 申请（专利权）人： | 株式会社大辉 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26;B24D11/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;霍玉娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够设定任意的尺寸、并且容易进行向研磨装置的安装的抛光垫。抛光垫(1)具有多个垫片(3a～3f)、多个接合部、以及多个槽部(2)。垫片(3a～3f)分别具有将抛光垫(1)分割为多个区域而成的面状，通过将它们组合，由此作为整体而构成研磨层。接合部沿垫片(3a～3f)的接合边界(B)而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。多个槽部(2)设置为在研磨层的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与接合边界(B)(接合部)在位置上对应。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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