[发明专利]阵列基板及制造方法及显示装置

摘要

本发明涉及液晶显示领域，公开了一种阵列基板，包括：薄膜晶体管；所述薄膜晶体管包括：衬底；栅极，形成在所述衬底上；栅极绝缘层，形成在所述栅极和所述衬底上；形成在所述栅极绝缘层上的同层设置的有源层以及像素电极层；所述有源层的沟道区通过金属氧化物导电层半导体化处理形成；所述像素电极层由金属氧化物导电层形成；源/漏金属层，形成在所述有源层和所述像素电极层上，包括源极和漏极，所述源极和所述漏极分别与所述有源层电连接，所述漏极与所述像素电极层电连接。本发明可实现有源层和像素电极层同层化，在原有阵列面板结构基础上，减少光罩，大大降低了生产成本。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：薄膜晶体管；所述薄膜晶体管包括：衬底；栅极，形成在所述衬底上；栅极绝缘层，形成在所述栅极和所述衬底上；形成在所述栅极绝缘层上的同层设置的有源层以及像素电极层；所述有源层的沟道区通过金属氧化物导电层半导体化处理形成；所述像素电极层由金属氧化物导电层形成；源/漏金属层，形成在所述有源层和所述像素电极层上，包括源极和漏极，所述源极和所述漏极分别与所述有源层电连接，所述漏极与所述像素电极层电连接。