[发明专利]一种溶液法制备钨掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法

摘要

本发明属于透明导电薄膜技术领域，公开了一种溶液法制备钨掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法。将钨粉和过氧化氢溶液在冰水浴中充分反应，过滤除杂后用蒸馏水稀释，得到钨酸溶液；将SnCl2·2H2O溶解于无水乙醇溶剂中，搅拌均匀，得到氯化亚锡溶液；向氯化亚锡溶液中滴加钨酸溶液和H2O2溶液，超声振荡处理至溶液为无色澄清透明，静置老化，得到混合液；在清洗干净的玻璃衬底上旋涂所得混合液，退火处理，得到钨掺杂氧化锡透明导电薄膜。本发明采用钨酸掺杂并加入H2O2提高了溶液的稳定性与通透性，使最终固化的薄膜中，W以+6价的WO3形式存在，提升了薄膜的透射性。

主权项

1.一种溶液法制备钨掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法，其特征在于包括如下制备步骤：(1)将钨粉和过氧化氢溶液在冰水浴中充分反应，将反应液过滤除去残余杂质后用蒸馏水稀释，得到钨酸溶液；(2)将SnCl₂·2H₂O溶解于无水乙醇溶剂中，搅拌均匀，得到氯化亚锡溶液；(3)向氯化亚锡溶液中滴加钨酸溶液和H₂O₂溶液，超声振荡处理直到溶液从浑浊变为无色澄清透明，静置老化，得到混合液；(4)在清洗干净的玻璃衬底上旋涂步骤(3)的混合液，退火处理，得到钨掺杂氧化锡透明导电薄膜。