[发明专利]一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器及其制造方法有效
| 申请号： | 201910002036.6 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN109708766B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 周长见;王琪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01J5/44 | 分类号： | G01J5/44;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为;冼俊鹏 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器及其制造方法，探测器包括声波谐振器，所述的声波谐振器包括衬底，在所述的声波谐振器远离衬底的一侧设有碳纳米管。制造方法为在声波谐振器远离衬底的一侧生长碳纳米管。其优点在于：所述的探测器响应时间短、灵敏度高，同时具有较高的工作频率，具有在无线通信领域的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 声波 谐振器 纳米 探测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器，其特征在于，包括声波谐振器，所述的声波谐振器包括衬底(101)，在所述的声波谐振器远离衬底(101)的一侧设有碳纳米管(108)。
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