[发明专利]适用微型器件的高精度转印设备及系统有效
申请号: | 201910002463.4 | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN109712928B | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 龚岩芬;龚政;陈志涛;刘晓燕;刘久澄;潘章旭;王建太 | 申请(专利权)人: | 广东省半导体产业技术研究院 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 王术兰 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种适用微型器件的高精度转印设备及系统,涉及半导体制造设备技术领域。本申请实施例提供的转印设备,可以适用于对微型器件的转印,通过静电吸片产生的静电吸附力可以实现对微型器件的吸附和释放,以静电作为转印的能量来源,使得转印设备的转印功耗较低,且可以适应不同形式器件的转印。同时,转印头可以在移动装置的控制下,进行水平面或竖直面上的移动,可以对不同规格的转印衬底进行转印,可以适应微型器件的巨量转移,提高转移效率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 适用 微型 器件 高精度 设备 系统 | ||
【主权项】:
1.一种适用微型器件的高精度转印设备,其特征在于,包括转印室以及设置在所述转印室内的基台、支架和转印头,其中:所述基台上设置有多个样品台;所述转印头与所述基台相对设置,所述转印头通过移动装置、悬臂梁与所述支架连接;所述移动装置用于控制所述转印头在竖直方向上升或下降,并控制所述悬臂梁沿水平方向移动;所述转印头包括主控板、与所述主控板连接的静电吸片点控板、与所述静电吸片点控板连接的多个升降杆、设置在所述升降杆一端的静电吸片以及与所述静电吸片连接的静电发生器;其中,所述主控板用于根据外部指令生成控制指令,所述静电吸片点控板用于根据所述控制指令控制所述升降杆上升或下降,并控制所述静电发生器通电或断电,以使所述静电吸片产生静电吸附力或消除静电吸附力;所述升降杆可微调图形化的所述静电吸片水平高度,从而实现器件的图形化转移。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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