[发明专利]适用微型器件的高精度转印设备及系统有效

专利信息
申请号: 201910002463.4 申请日: 2019-01-02
公开(公告)号: CN109712928B 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 龚岩芬;龚政;陈志涛;刘晓燕;刘久澄;潘章旭;王建太 申请(专利权)人: 广东省半导体产业技术研究院
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 王术兰
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种适用微型器件的高精度转印设备及系统,涉及半导体制造设备技术领域。本申请实施例提供的转印设备,可以适用于对微型器件的转印,通过静电吸片产生的静电吸附力可以实现对微型器件的吸附和释放,以静电作为转印的能量来源,使得转印设备的转印功耗较低,且可以适应不同形式器件的转印。同时,转印头可以在移动装置的控制下,进行水平面或竖直面上的移动,可以对不同规格的转印衬底进行转印,可以适应微型器件的巨量转移,提高转移效率,降低生产成本。
搜索关键词: 适用 微型 器件 高精度 设备 系统
【主权项】:
1.一种适用微型器件的高精度转印设备,其特征在于,包括转印室以及设置在所述转印室内的基台、支架和转印头,其中:所述基台上设置有多个样品台;所述转印头与所述基台相对设置,所述转印头通过移动装置、悬臂梁与所述支架连接;所述移动装置用于控制所述转印头在竖直方向上升或下降,并控制所述悬臂梁沿水平方向移动;所述转印头包括主控板、与所述主控板连接的静电吸片点控板、与所述静电吸片点控板连接的多个升降杆、设置在所述升降杆一端的静电吸片以及与所述静电吸片连接的静电发生器;其中,所述主控板用于根据外部指令生成控制指令,所述静电吸片点控板用于根据所述控制指令控制所述升降杆上升或下降,并控制所述静电发生器通电或断电,以使所述静电吸片产生静电吸附力或消除静电吸附力;所述升降杆可微调图形化的所述静电吸片水平高度,从而实现器件的图形化转移。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省半导体产业技术研究院,未经广东省半导体产业技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910002463.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top