[发明专利]一种化学液相法制备硒化铅薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种化学液相法制备硒化铅薄膜的方法，属于半导体材料的制备领域。本发明采用的是醋酸铅和硒粉，分别为铅源和硒源，以硒粉和亚硫酸钠为原料制备硒代硫酸钠，以柠檬酸钠为络合剂，通过氢氧化钾调节pH值，将沉积液放置水浴锅中，在75℃下加热3～4小时，干燥后得到的硒化铅薄膜。本发明合成方法中所用的原料易得，工艺简便，成本低、收率高和能大规模生产薄膜的优点，因此该方法具有非常广阔的应用前景。

主权项

1.一种化学液相法制备硒化铅薄膜的方法，其包括醋酸铅、硒粉、亚硫酸钠、氢氧化钾，pH控制在11.0～12.0，在75℃下加热3～4小时，干燥后得到的硒化铅薄膜，其特征在于：具体制备步骤如下：a.制备前对衬底进行去油、去污清洗，放入无水乙醇中经过超声波清洗15～20min，再放入无水乙醇中浸泡；b.制备硒代硫酸钠溶液：将适当比例的硒粉与亚硫酸钠放入容器中，加入去离子水，在90℃下边搅拌边加热24h，过滤除去未反应的硒粉和硒酸盐，得到硒代硫酸钠溶液；c.制备沉积液：配制出质量分数为1.5～2.0％的醋酸铅溶液、16～18％柠檬酸钠溶液，边搅拌边将柠檬酸钠溶液缓慢地倒入醋酸铅溶液中，再将硒代硫酸钠溶液倒入二者的混合溶液中，加去离子水，使用氢氧化钾溶液调节pH值至11.0～12.0得到沉积液；沉积液中，柠檬酸钠溶液体积百分数为15％‑30％，醋酸铅溶液体积百分数为20％‑40％，硒代硫酸钠溶液的体积百分数为6％‑8％，余量为去离子水和氢氧化钾溶液；d.将衬底吹干后，放入75℃沉积液中，3～4小时后取出，风干。