[发明专利]减振系统以及具备该减振系统的光学装置

摘要

本发明涉及用于对被减振体的振动进行减振的减振系统以及具备该减振系统的光学装置。减振系统具备：(i)压电元件，分别具有能够收缩的压电元件，以将被减振体的侧面与基体之间连结的方式，从被减振体的侧面向基体延伸；(ii)驱动电源，为了使压电元件收缩，向促动器单元的压电元件供给驱动电压；(iii)振动检测部，对被减振体的振动的状态进行检测；以及(iv)振动控制器，基于由振动检测部检测到的振动的状态，控制由驱动电源向促动器单元的压电元件供给的电压，由此控制被减振体的振动的减振。

主权项

1.一种减振系统，对搭载在基体上的被减振体的振动进行减振，具备：促动器单元，分别具有能够伸缩的压电元件，为了将上述被减振体的侧面与上述基体之间进行连结，而从上述被减振体的侧面的至少3个周向上不同的位置，向至少3个不同方向延伸到上述基体；驱动电源，为了使上述压电元件伸缩，对上述促动器单元的上述压电元件供给驱动电压；振动检测部，对包含上述振动的量和方向的上述被减振体的振动的状态进行检测；以及振动控制器，以上述促动器单元分别在上述被减振体向远离上述促动器单元的方向运动了时收缩、在上述被减振体向朝向上述促动器单元的方向运动了时伸长的方式，基于由上述振动检测部检测到的上述振动的状态，控制上述驱动电源向上述压电元件供给的电压，由此控制上述被减振体的振动的减振。