[发明专利]包括非有源鳍和分隔区的半导体器件在审

专利信息
申请号: 201910006986.6 申请日: 2019-01-04
公开(公告)号: CN110277388A 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 金哲;朴钟撤;白桂铉 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L29/06;H01L29/78;H01L21/8238
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张波
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种半导体器件包括具有从其突出的多个鳍的衬底。所述多个鳍包括多个有源鳍以及设置在所述多个有源鳍中的有源鳍之间的至少一个非有源鳍。该半导体器件还包括与有源鳍的至少一部分交叉的至少一个栅电极。该半导体器件还包括与所述至少一个栅电极相邻地设置在有源鳍上并且通过所述至少一个非有源鳍彼此分开的多个源极/漏极区。
搜索关键词: 半导体器件 栅电极 源极/漏极区 彼此分开 分隔区 衬底
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:具有从其突出的多个鳍的衬底,所述多个鳍包括多个有源鳍以及设置在所述多个有源鳍中的有源鳍之间的至少一个非有源鳍;至少一个栅电极,与所述有源鳍的至少一部分交叉;以及多个源极/漏极区,与所述至少一个栅电极相邻地设置在所述有源鳍上并且通过所述至少一个非有源鳍彼此分开。
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