[发明专利]一种微波谐振腔测量表面电阻/电导率的校准方法在审
| 申请号： | 201910009261.2 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109765516A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 叶鸣;孔亚男;贺永宁 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波谐振腔测量表面电阻/电导率的校准方法，包括以下步骤：1)获取方块电阻值间隔分布均匀的校准样品；2)利用四探针测量校准样品的方块电阻Rs0；3)取下谐振腔顶部的盖板，然后将校准样品覆盖于谐振腔顶部的开口处，测量并计算得到当前谐振腔的品质因子Q0；4)取下校准样品，将待测样品覆盖于谐振腔的顶部开口处，测量计算得到此时谐振腔的品质因子Q；5)根据步骤3)测量计算得到的谐振腔的品质因子Q0及步骤4)测量计算得到的谐振腔的品质因子Q计算待测样品方块电阻值Rs和电导率值，该方法能够校准谐振腔测量待测样品的方块电阻值及电导率值。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 校准 电导率 方块电阻 测量 待测样品 测量表面电阻 微波谐振腔 品质因子Q 品质因子 取下 顶部开口 间隔分布 探针测量 开口处 盖板 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种微波谐振腔测量表面电阻/电导率的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：1)获取方块电阻值间隔分布均匀的校准样品；2)利用四探针测量校准样品的方块电阻Rs0；3)取下谐振腔(3)顶部的盖板，然后将校准样品覆盖于谐振腔(3)顶部的开口处，测量并计算获得当前谐振腔(3)的品质因子Q0；4)取下校准样品，将待测样品覆盖于谐振腔(3)的顶部开口处，测量并计算获得此时谐振腔(3)的品质因子Q；5)根据步骤3)测量计算得到的谐振腔(3)的品质因子Q0及步骤4)测量计算得到的谐振腔(3)的品质因子Q计算待测样品方块电阻值Rs和电导率值。
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