[发明专利]一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法及其合成薄膜有效
| 申请号： | 201910009274.X | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109576702B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 钱旦;宋忠孝;朱凡;李雁淮 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法包括以下操作：配制前驱物溶液；取预设体积的前驱物溶液放置于反应釜内衬中；将基片置于反应釜内衬内的液面上方，基片的待镀膜面面向液面且两者距离为1‑13mm；设置溶剂热的反应参数，反应后得到镀膜的基片；该方法具有低成本、高结合力以及形貌可控的特点。本发明公开了的基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法合成薄膜，薄膜的结合力强，形貌多变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 溶剂 成法 气相蒸镀成膜 方法 及其 合成 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法，其特征在于，包括以下操作：配置前驱物溶液；取预设体积的前驱物溶液放置于反应釜内衬中；将基片置于反应釜内衬内的液面上方，基片的待镀膜面面向液面；设置溶剂热的反应参数，反应后得到镀膜的基片。
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