[发明专利]粘膜机及粘膜方法在审

专利信息
申请号: 201910010113.2 申请日: 2019-01-04
公开(公告)号: CN109742040A 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 李双龙;边绍成;王志达;程国庆;杨虎 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 崔振
地址: 132013 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种粘膜机及粘膜方法,涉及半导体器件生产装置技术领域,粘膜机包括:机架、输膜组件、支撑架成品输送组件、压板组件、切割组件和控制器;压板组件与切割组件相对设置,输膜组件、支撑架成品输送组件、压板组件和切割组件均与机架连接;机架上设有入料口,入料口用于容纳支撑体,且与压板组件在水平方向上间隔设置;输膜组件用于将膜料张紧并输送至压板组件和切割组件之间;支撑架成品输送组件用于将支撑体自入料口输送至压板组件和切割组件之间,并使支撑体位于膜料背离切割组件的一侧;控制器分别与输膜组件、支撑架成品输送组件、压板组件和切割组件相连接,能够解决手工粘膜效率低的技术问题,可以提升粘膜效率。
搜索关键词: 切割组件 压板组件 粘膜 成品输送 膜组件 支撑架 入料口 支撑体 控制器 膜料 半导体器件生产 装置技术领域 间隔设置 相对设置 张紧 背离 容纳
【主权项】:
1.一种粘膜机,其特征在于,包括:机架(100)、输膜组件(200)、支撑架成品输送组件(300)、压板组件(400)、切割组件(500)和控制器(800);所述压板组件(400)与所述切割组件(500)相对设置,所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)均与所述机架(100)连接;所述机架(100)上设有入料口,所述入料口用于容纳支撑体,且与所述压板组件(400)在水平方向上间隔设置;所述输膜组件(200)用于将膜料张紧并输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间;所述支撑架成品输送组件(300)用于将支撑体自所述入料口输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间,并使支撑体位于膜料背离切割组件(500)的一侧;所述控制器(800)分别与所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)相连接。
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