[发明专利]一种磁控直流放电装置及方法在审
申请号: | 201910012725.5 | 申请日: | 2019-01-07 |
公开(公告)号: | CN109701474A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 黄云云;王为旺;洪若瑜 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | B01J19/08 | 分类号: | B01J19/08;B82Y40/00;C01B32/15;C01B32/184;C09C1/48 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350108 福建省福州市闽*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及一种磁控直流放电装置及方法,选择耐高温、绝缘材料加工成圆筒状作为反应器主体,以耐高温导电材料作为正、负电极,以易电离气体为载气,以磁环为磁场源;将原料气与载气混合通入反应器主体中,通直流电源后,正、负极之间的气体被击穿,形成导电通路,在磁场的作用下,电离气体发生旋转,从而产生大范围高温区域。本发明制作的直流放电装置,生成高温反应区域大、温度和强度分布均匀、可持续工作。 | ||
搜索关键词: | 直流放电装置 反应器主体 电离气体 磁控 载气 耐高温导电材料 负极 导电通路 高温反应 高温区域 绝缘材料 强度分布 直流电源 磁场源 负电极 耐高温 原料气 圆筒状 击穿 磁环 磁场 制作 加工 | ||
【主权项】:
1.一种磁控直流放电装置,其特征在于:包括反应器、分离装置;所述反应器设有进气口;所述反应器内设置有两个放电电极,其中一个放电电极为设置在反应器内部中上部的环状导体,反应器的外部与环状导体相对应的位置套设有磁环;另外一个放电电极相对环状导体的环平面垂直设置;所述两个放电电极均与外部的电源电性相连;反应器的尾部与所述分离装置配合连接。
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