[发明专利]实时控制器切换在审
申请号: | 201910014851.4 | 申请日: | 2019-01-08 |
公开(公告)号: | CN110032061A | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 周春鸿;约翰·贝利;达斯汀·布莱尔 | 申请(专利权)人: | 伊鲁米那股份有限公司 |
主分类号: | G05B11/42 | 分类号: | G05B11/42;G01N21/01 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张瑞;杨明钊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本公开涉及实时控制器切换。成像系统可以包括:样品台,其具有支撑待由成像系统扫描的样品的表面;具有物镜的光学台,该光学台可以相对于样品台被定位;致动器,其物理地耦合到样品台和光学台中的至少一个以相对于光学台移动样品台;伺服电路,其控制致动器;控制伺服电路的第一组控制参数;控制伺服电路的第二组控制参数;以及伺服控制电路,其当成像系统在第一操作模式中操作时将第一组控制参数应用于伺服电路,并且当成像系统在第二操作模式中操作时将第二组控制参数应用于伺服电路。 | ||
搜索关键词: | 组控制参数 样品台 伺服电路 实时控制器 操作模式 成像系统 控制伺服 电路 伺服控制电路 控制致动器 台移动 致动器 耦合到 物镜 应用 扫描 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种成像系统,包括:样品台,其包括支撑待由所述成像系统扫描的样品的表面;具有物镜的光学台,所述光学台能够相对于所述样品台被定位;致动器,其物理地耦合到所述样品台和所述光学台中的至少一个以相对于所述光学台移动所述样品台;伺服电路,其控制所述致动器;第一组控制参数,其控制所述伺服电路;第二组控制参数,其控制所述伺服电路;以及伺服控制电路,其当所述成像系统在第一操作模式中操作时将所述第一组控制参数应用于所述伺服电路,并且当所述成像系统在第二操作模式中操作时将所述第二组控制参数应用于所述伺服电路。
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