[发明专利]环境传感器、环境传感器中间产品和用于制造多个环境传感器的方法在审

专利信息
申请号: 201910015173.3 申请日: 2019-01-08
公开(公告)号: CN110015635A 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: M·克瑙斯;D·豪格;T·亨 申请(专利权)人: 罗伯特·博世有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;G01L7/08;B81B7/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国斯*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于制造多个耐介质的环境传感器的方法(10),其中,在各个传感器芯片(14)之间的区域中将粘接剂(20)施加到模制物质(16)的表面(16a)上,并且,在布置于该基底(12)的表面(12a)上的多个传感器芯片(14)的区域中将隔膜(22)层叠到该基底(12)上,其中,该隔膜(22)覆盖该多个传感器芯片(14)。本发明还涉及一种环境传感器中间产品和一种耐介质的环境传感器(10)。
搜索关键词: 环境传感器 传感器芯片 中间产品 隔膜 基底 模制物质 粘接剂 制造 施加 覆盖
【主权项】:
1.一种用于制造多个耐介质的环境传感器(10)的方法,该方法具有以下步骤:提供(S1)基底(12),在该基底的表面(12a)上布置有多个传感器芯片(14),这些传感器芯片至少局部地用模制物质(16)注塑包封;在各个传感器芯片(14)之间的区域中将粘接剂(20)施加(S2)到该模制物质(16)的表面(16a)上;在布置于该基底(12)的表面(12a)上的所述多个传感器芯片(14)的区域中将隔膜(22)层叠(S3)到该基底(12)上,其中,该隔膜(22)覆盖所述多个传感器芯片(14);以及将所述多个传感器芯片(14)分成单个(S4)以构成所述多个耐介质的环境传感器(10)。
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