[发明专利]多工位水冷靶及其制造方法

摘要

本发明公开了一种多工位水冷靶及其制造方法，包括制造靶体、集水管、进水管、堵水件、回水管、回水弯管、靶套等。将各部件组装焊接形成多工位水冷靶。由于采用螺旋槽设计的直接水冷通道，并将靶体套入靶套内，安装在靶套表面的靶材由于离子束轰击产生的热量直接由冷却水带走，水准效果好。同时这种设计的水冷靶结构简单，可实现四面、五面、六面、八面等形式，可安装多种不同靶材。

主权项

1.一种多工位水冷靶制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.采用机械加工方法制造圆柱形外表带螺旋槽(17)的靶体(1)，所述靶体(1)一端中心位置加工有直径较大的靶体第二开口(12)，穿过所述靶体第二开口(12)的中心位置加工有直径较小的靶体第四开口(14)，在所述靶体第四开口(14)同一端边缘加工有贯通螺旋槽出口(16)的靶体第一开口(11)，在所述靶体第四开口(14)另一端边缘加工有贯通螺旋槽入口(15)的靶体第三开口(13)；S2.采用机械加工的方法制造圆柱体靶套(8)，所述靶套(8)内部加工有与所述靶体(1)外径吻合的圆形通孔靶套开口(81)；S3.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体(1)的靶体第二开口(12)内径吻合的、上端侧位加工有集水管第一开口(21)、中心加工有集水管第二开口(22)的集水管(2)；S4.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体(1)的靶体第四开口(14)内径吻合的、上端带有进水弯管(31)的进水管(3)；S5.采用机械加工的方法制造堵水件(4)，所述堵水件(4)外径与所述集水管(2)的集水管第二开口(22)内径吻合，所述堵水件(4)中心开有内径与所述进水管(3)外径吻合的通孔堵水件第一开口(41)，所述堵水件(4)边缘开有另一通孔堵水件第二开口(42)；S6.采用机械加工的方法制造回水管(5)和回水弯管(6)；S7.将所述进水管(3)插入靶体第四开口(14)，所述进水弯管(31)末端插入靶体第三开口(13)，在所述靶体第三开口(13)和靶体第四开口(14)周围进行圆周密封焊接；S8.将所述回水弯管(6)一端插入所述集水管(2)的集水管第一开口(21)中，并在接合处进行圆周密封焊接；S9.将焊接有回水弯管(6)的所述集水管(2)一端插入靶体(1)的靶体第二开口(12)并在接合处进行圆周密封焊接；将所述回水弯管(6)的另一端插入靶体第一开口(11)，并在接合处进行圆周密封焊接；S10.将所述回水管(5)插入所述堵水件(4)的堵水件第二开口(42)并在接合处进行圆周密封焊接；S11.将焊接有回水管(5)的所述堵水件(4)插入所述集水管(2)的集水管第二开口(22)内，并在接合处进行圆周密封焊接；将所述进水管(3)与所述堵水件(4)的堵水件第一开口(41)接合处进行圆周密封焊接；S12.将焊接好集水管(2)、进水管(3)、堵水件(4)、回水管(5)和回水弯管(6)的靶体(1)套入所述靶套(8)的靶套开口(81)内，并在上下端的接合处进行圆周密封焊接，这样形成了多工位水冷靶。